至纯科技：中国半导体清洗设备巨头高速成长，气体等半导体服务业务空间广阔-220920(26页）

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摘要：

敬请参阅最后一页特别声明-1-证券研究报告2022年9月20日公司研究中国半导体清洗设备巨头高速成长，气体等半导体服务业务空间广阔——至纯科技（603690.SH）跟踪报告之六买入（维持）至纯科技是中国半导体清洗设备巨头企业。公司主业包括半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。至纯科技半导体湿法清洗设备控股子公司至微科技通过增资扩股引入战略投资者，目前战略投资者持有至微科技比例约22%，增资方包括大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、远致星火等。公司2022H1实现收入11.2亿元；实现扣非归母净利润0...

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