光刻机行业报告:从0到1,星辰大海-中泰证券-2023.4.3-65页
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1【中泰电子】光刻机行业报告:从0到1,星辰大海证券研究报告2023年04月03日中泰电子王芳团队分析师:王芳执业证书编号:S0740521120002分析师:游凡执业证书编号:S0740522120002分析师:杨旭执业证书编号:S0740521120001研究助理:张琼pOwPtRmMsNsOuNsOzRoNmNbR9RaQsQnNsQtQlOnNnReRmMqM6MrQoQMYpPsQuOpPoM来源:ASML,中泰证券研究所3光刻是芯片制造最核心环节光刻机是芯片制造中最复杂、最昂贵的设备。芯片制造可以包括多个工艺,如初步氧化、涂光刻胶、曝光、显影、刻蚀、离子注入。这个过程需要用到的设...