国防军工行业高精度MEMS陀螺仪深度之一:原理、工艺与产业链-20230818-中邮证券-21页

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摘要:

请务必阅读正文之后的免责条款部分2目录1MEMS陀螺仪工作原理......................................................................41.1用科里奥利力测量角速度...............................................................41.2用MEMS实现:静电驱动、电容检测......................................................52高精度与消费级MEMS陀螺仪的主要区别............................

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