拓荆科技-半导体薄膜沉积设备龙头，上市后驶入成长快车道-220506（34页）

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摘要：

上市公司公司研究/·Zl…证券研究报告机械设备2022年05月06日拓荆科技(688072)——半导体薄膜沉积设备龙头，上市后驶入成长快车道报告原因：首次覆盖增持（首次评级）投资要点：⚫国内半导体薄膜沉积设备龙头，业绩进入加速阶段。公司深耕半导体薄膜沉积设备领域，产品包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备和次常压化学气相沉积（SACVD）设备三大系列。目前已形成覆盖二十余种工艺型号的设备，可以满足客户对于不同材料、不同芯片结构薄膜沉积工序的设备需求。公司产品广泛应用于国内晶圆厂14nm及以上制程集成电路制造产线，累计发货超150台，并已展开10nm及以...

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