半导体设备国产化专题九：清洗设备：清洗设备国产化率与刻蚀设备国产化率基本持平，盛美是12寸线清洗设备国产化关键推动者[11页]

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摘要：

半导体设备行业|证券研究报告—行业点评2020年5月14日[Table_IndustryRank]强于大市《半导体设备国产化专题八：工艺控制与量测设备》（2019-12-4）《半导体设备国产化专题七：硅片生长及加工设备》（2019-11-居）《半导体设备国产化专题六：光刻工艺环节的光刻机、Track和去胶设备》（2019-11-10）《半导体设备国产化专题五：集成电路封装设备》（2019-10-10）《半导体设备国产化专题四：集成电路测试设备》2019-06-居《半导体设备国产化专题三：3DNand工艺设备国产化统计》2019-06-10《半导体设备国产化专题二：28-14nm制程设备国产化统...

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