拓荆科技-国产薄膜沉积设备龙头,广阔空间加速成长-220503(27页)
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请仔细阅读本报告末页声明证券研究报告|首次覆盖报告2022年05月03日拓荆科技-U(688072.SH)国产薄膜沉积设备龙头,广阔空间加速成长国内唯一PECVD、SACVD产业化供应商,打破外资垄断。拓荆科技成立于2010年,十余年来专注于半导体薄膜沉积设备,承担多项国家科技重大专项,是国内唯一一家产业化应用PECVD和SACVD设备的供应商,主要产品包含PECVD设备、ALD设备及SACVD设备三个系列,产品已适配国内最先进的28/14nm逻辑芯片、19/17nmDRAM芯片及64/128层3DNANDFLASH晶圆制造产线,并应用于中芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储、厦门联芯、燕东微...
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