其他专用机械行业：从KLA成长路径看半导体检测设备国产替代进程-210911（24页）

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摘要：

1从KLA成长路径看半导体检测设备国产替代进程■检测设备贯穿每一步骤的过程工艺控制，全球市场空间超百亿美元。半导体量检测设备又称过程工艺控制设备，主要对生产步骤的良率进行严格控制，几乎贯穿每一道生产步骤。其中半导体量测设备主要功能是对经过每一道工艺的晶圆进行定量测量，以保证工艺的关键物理参数满足工艺指标，如膜厚、关键尺寸（CD）、膜应力、折射率、参杂浓度、套准精度等；半导体检测设备主要用于检测晶圆上的物理缺陷（称为颗粒的异物）和图案缺陷，其细分品类可以分为明/暗场检测设备、电子束检测、光罩检测设备等。根据科磊及Semi统计，测试设备在设备投资中占比在11%~13%，我们预测2021年全球半导体...

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