机械设备行业：检测设备系列之一，半导体缺陷检测，谁有机会成为中国的科磊？-200224[22页]

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摘要：

[Table_Title]检测设备系列之一:半导体缺陷检测[Table_Title2]谁有机会成为中国的科磊？[Table_Summary]主要观点:检测设备是大家关注但是在划分上通常并不清晰的一类设备。我们接下来的一系列报告希望能够深度挖掘检测设备的技术内核以及在不同行业中的不同应用。半导体行业是首要分析的下游之一。大家口中的“半导体检测设备”可以进一步具体分为：狭义的检测（主要是DefectInspection）、测量（Metrology）以及测试（Test）。除去这三种工艺制程相关的“检测”设备外，在设计验证阶段还有第三方检测公司，主要做芯片的失效分析等。本篇主要讨论的是狭义上的“检测”...

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